半導体検査を短縮する電子ビーム生成装置を開発・製造・販売する「Photo electron Soul」が3.5億円調達

2022年5月31日、株式会社Photo electron Soulは、総額3億5,000万円の資金調達を実施したことを発表しました。

Photo electron Soulは、電子ビーム生成装置を開発・製造・販売する、名古屋大学発ベンチャーです。

半導体製造におけるウェハの欠陥検査において、独自の革新的な電子ビーム技術（半導体フォトカソード電子ビーム）により、従来よりも圧倒的に速い検査を実現するものです。

今回の資金は、国内外の新規顧客に向けた製品開発・早期導入、製造拠点の拡充、電子ビーム生成技術をより高度化・高機能化するための研究開発などに充当します。

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ウェハとは、単結晶シリコンの円柱状のインゴッドを薄くスライスした円盤状の板のことです。

電子部品である半導体素子の材料であり、電子機器にとってなくてはならないものです。

このウェハに回路を形成することで電子部品を製造するのですが、この製造工程の段階はいくつもあり、その複数の段階で欠陥が発生することがあります。

そのため何度か欠陥検査をすることになるのですが、電子部品の一種である集積回路（IC）は非常に細かく精密であるため、検査にも高度な技術が必要となります。

また、ICの高性能化のため、近年は微細化と多層化が進み、さらに検査の難度が高まっています。

既存の検査技術・装置はこうした細かい電子部品の検査に時間がかかることが課題となっています。半導体メーカーや半導体検査装置メーカーは、検査技術の開発に多くの資金を投入していますが、それでも未だ有効な検査技術は現れていません。

Photo electron Soulの技術は、この半導体検査装置の検査速度を圧倒的に向上させることができるという革新的なものです。半導体検査装置における電子ビーム生成装置のグローバルシェアを50%獲得することに向け事業を推進しています。

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