半導体検査装置の検査時間短縮を実現する“電子ビーム生成装置”を提供する「Photo electron Soul」が6.2億円調達

2020年7月17日、株式会社Photo electron Soulは、総額6億2,000万円の資金調達を実施したことを発表しました。

名古屋大学発ベンチャーで、独自の革新的な電子ビーム技術を核に開発した次世代の「電子ビーム生成装置」を開発・提供しています。

既存の技術では多くの時間を必要としていた半導体検査装置に利用されている旧来の電子ビーム装置をこの装置に刷新することで、従来では不可能だった微細観測、微細加工、高スループット性などを実現し、様々な分野にブレークスルーをもたらします。

今回の資金は、数年以内の半導体検査装置における電子ビーム生成装置のグローバルシェア50%を実現するための事業開発・製品開発や、製造体制の整備、電子ビーム生成技術の行動化・高機能化などに充当されます。

社会のさらなるデジタル化に伴い、半導体も高度化・細分化しており、これからもさらに進化を続けていくとみられています。

しかしこの高度化・細分化により、検査方法に多くの時間がかかることが大きな課題となっています。光学的なソリューションが実現することで検査の高速化が行え、製品の提供までの時間が短縮されるだけでなく、日常的なモニタリングと高度なプロセス管理が可能となります。

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