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2023年9月15日半導体検査を短縮する電子ビーム生成装置を開発・製造・販売する「Photo electron Soul」が7.3億円調達

2023年9月13日、株式会社Photo electron Soulは、総額7億3,000万円の資金調達を実施したことを発表しました。
Photo electron Soulは、電子ビーム生成装置を開発・製造・販売する、名古屋大学発スタートアップです。
半導体製造におけるウェハの欠陥検査において、独自の革新的な電子ビーム技術(半導体フォトカソード電子ビーム)により、従来よりも圧倒的に速い検査を実現します。
また、電子ビーム技術をもとに、あらゆる分野(ライフ、マテリアル、エンジニアリング)において技術革新を起こしていくことを目指しています。
「ウェハ」とは、単結晶シリコンの円柱状インゴッドを薄くスライスした円盤状の板のことです。このウェハは、半導体素子の製造に不可欠な材料であり、電子機器に欠かせない要素です。
ウェハ上に回路を形成することで、電子部品が製造されます。この製造プロセスは多くの段階から成り立ち、それぞれの段階で欠陥が発生する可能性があります。そのため、複数回の欠陥検査が必要です。とくに、集積回路(IC)などの微細で精密な電子部品は、高度な検査技術が求められます。
さらに、近年のICの高性能化に伴い、微細化と多層化が進展し、検査の難易度が増しています。既存の検査技術と装置は、このような微細な電子部品の検査に時間がかかるという課題を抱えています。半導体メーカーや半導体検査装置メーカーは、検査技術の向上に多額の資金を投じていますが、まだ有効な検査技術は現れていません。
Photo electron Soulの技術は、この半導体検査装置の検査速度を圧倒的に向上させることができる革新的なものです。
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