独自電子ビーム技術を核とした半導体検査装置を提供する「Photo electron Soul」が9億円調達

2026年3月31日、株式会社Photo electron Soulは、総額約9億円の資金調達を発表しました。

Photo electron Soulは、独自のフォトカソード電子ビーム技術をコアとして、異分野技術の融合による革新的な製品・サービスの創出を推進しています。

革新的な半導体ウェハ検査装置の展開を皮切りに、さまざまな分野（ライフ、マテリアル、エンジニアリング）に対し、光電子ビーム技術を提供していきます。

今回調達した資金は、以下の取り組みに活用します。

・半導体フォトカソード型電子ビーム生成システムの量産・メンテナンス体制の強化
・次世代電子ビーム応用領域（検査・計測、先端パターニング等）への開発投資の加速
・グローバル顧客基盤の拡大に向けた営業・サポート体制の強化

「ウェハ」とは、単結晶シリコンのインゴッドを薄くスライスして作られる円盤状の基板であり、半導体素子の製造に不可欠な材料です。ウェハ上に微細な回路を形成することで電子部品が生産されますが、この工程は多段階にわたり、各工程で欠陥が生じる可能性があります。そのため、製造プロセス全体で複数回の欠陥検査が行われます。特に集積回路（IC）のような高密度・微細構造のデバイスでは、より高度で精緻な検査技術が求められます。

近年はICの高性能化に伴い微細化と多層化が急速に進み、検査の難易度と負荷が増大しています。既存の検査技術や装置では処理時間が長く、生産効率を阻害することが課題となっています。

この課題に対処するため、Photo electron Soulは独自のフォトカソード電子ビーム技術の実装を目指しています。

電子を飛ばす装置は、半導体検査、カメラのセンサー検査、医療機器、研究などさまざまな分野で利用されています。しかし現在利用されている電子源は50年以上前の技術がベースであり、性能面で限界が訪れています。

そこでPhoto electron Soulは新たな電子源（半導体フォトカソード）により、性能を一気に引き上げることを目指しています。

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