補助金・助成金：「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発（助成）」に係る公募について

補助金・助成金
全国
募集期間 2025年11月06日～2025年12月08日
国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構は、事業の実施者を一般に広く公募いたしますので、本件について応募を希望する方は、ご応募ください。
【概要】
第4世代移動通信システム（4G）と比べてより高度な第5世代移動通信システム（5G）は、現在各国で商用サービスが始まっていますが、更に超低遅延や多数同時接続といった機能が強化された5G（以下、「ポスト5G」という。）は、今後、工場や自動車といった多様な産業用途への活用が見込まれており、我が国の競争力の核となり得る技術と期待されています。経済産業省及びNEDOにて取り組む「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業」では、研究開発の進捗や技術動向・市場動向、半導体・デジタル産業戦略検討会議での議論等を踏まえ、経済産業省が策定・改定した研究開発計画に基づき、ポスト5Gに対応した情報通信システムの中核となる技術の開発研究として、「先端半導体製造技術の開発」を実施しています。
NEDOは、本事業において将来的に、ポスト5G情報通信システムで用いられる先端半導体を国内で設計・製造できる技術を確保するため、開発に取り組みます。

本公募では、研究開発計画における以下の開発テーマを対象とします。研究開発計画の要件等を満たすよう応募をしてください。
〔2〕先端半導体製造技術の開発（助成）
（c）露光周辺技術開発
（c1）高出力EUV露光装置向けペリクル開発【GX】

受付期間：2025年11月6日（木）～2025年12月8日（月）正午

【説明会】
開催日時：2025年11月14日（金）11時00分～12時00分
開催方法：オンライン（Microsoft Teams）
申込期限：2025年11月13日（木）17時


「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業/先端半導体製造技術の開発（助成）」に係る公募について

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